德國(guó)PI緊湊型線(xiàn)性平臺(tái)
&&M-110•M-111•M-112 V6緊湊型線(xiàn)性平臺(tái)，適用于真空
XY（Z）組合與直流齒輪電動(dòng)機(jī)和各種行程范圍變體
M-110•M-111•M-112 V6緊湊型線(xiàn)性平臺(tái)，適用于真空
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購(gòu)
適用于高達(dá)10-6 hPa的真空
折疊式驅(qū)動(dòng)器非常緊湊
閉環(huán)直流電動(dòng)機(jī)
行程范圍：5、15和25毫米
非接觸式參考和限位開(kāi)關(guān)
XY設(shè)置可以直接安裝
緊湊型線(xiàn)性平臺(tái)，用途廣泛
線(xiàn)性平臺(tái)具有緊湊的尺寸，歸因于帶皮帶驅(qū)動(dòng)的折疊驅(qū)動(dòng)。直徑為10毫米的透明孔。XY設(shè)置可以直接安裝而無(wú)需轉(zhuǎn)接板。

駕駛
閉環(huán)直流減速電機(jī)
背隙補(bǔ)償絲杠
應(yīng)用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。

減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用
顯著的是，為了潤(rùn)滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動(dòng)螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達(dá)到80°C。通過(guò)對(duì)PI V6真空等級(jí)的這種和其他修改，該定位器的使用時(shí)間可達(dá)10 -6  hPa。

位置測(cè)量
電機(jī)軸上的旋轉(zhuǎn)編碼器
非接觸霍爾效應(yīng)參考和限位開(kāi)關(guān)

&&L-611 V6•V7•V9適用于真空的精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
高行程精度
L-611 V6•V7•V9適用于真空的精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購(gòu)
適用于高達(dá)10-9 hPa的真空
無(wú)限旅行范圍
*分辨率
步進(jìn)電機(jī)
方向感應(yīng)參考開(kāi)關(guān)
可以進(jìn)行多軸設(shè)置
參考級(jí)旋轉(zhuǎn)臺(tái)
由于預(yù)載蝸輪蝸桿傳動(dòng)裝置的游隙小，因此可以實(shí)現(xiàn)高精度定位。預(yù)裝的樞軸軸承可實(shí)現(xiàn)較高的行程精度。Ø35毫米的透明孔。雙向旋轉(zhuǎn)的行程范圍不受限制。參考開(kāi)關(guān)。

高真空應(yīng)用的更高質(zhì)量
在這種情況下，將使用適合于高真空的特殊組件，例如電動(dòng)機(jī)，測(cè)量系統(tǒng)和限位開(kāi)關(guān)。此外，表面由無(wú)涂層的鋁制成，驅(qū)動(dòng)螺釘和導(dǎo)軌由不銹鋼制成。這樣，達(dá)到了PI V7真空等級(jí)，這意味著高達(dá)10 -7  hPa。

選件：行程精度和定位精度的測(cè)量
可根據(jù)要求提供單獨(dú)的測(cè)量記錄，以用于擺動(dòng)，軸向和徑向蠕變。訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)注明。

減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用
顯著的是，為了潤(rùn)滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動(dòng)螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達(dá)到80°C。通過(guò)對(duì)PI V6真空等級(jí)的這種和其他修改，該定位器的使用時(shí)間可達(dá)10 -6  hPa。

質(zhì)量滿(mǎn)足超高真空的特殊要求
在此真空等級(jí)中，由于適用于超高真空的組件，產(chǎn)品在所有細(xì)節(jié)上均得到了優(yōu)化，以達(dá)到10 -9  hPa的PI V9真空等級(jí)。除其他事項(xiàng)外，為此僅使用選定類(lèi)型的塑料，烘烤溫度為120°C（帶測(cè)量系統(tǒng)）或150°C（不帶測(cè)量系統(tǒng)）。

應(yīng)用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。

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